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多晶硅铸锭炉加热室的设计


文件大小:0.16MB
上传会员:可爱喵喵
文件格式:PDF
上传时间:2024-03-17
内容介绍:

[摘要]加热室是多晶硅铸锭炉的关键部件之一。多晶硅锭的生长工艺过程都要通过加热室的调整来实现。着重介绍了多晶硅铸锭炉加热室的结构设计。

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